靶材 分类:管靶、板靶, 圆靶 用途;真空镀膜材料 材质:钛、镍、锆、铬、钽、铌,钨, 钼及合金
靶 。规格:板靶 50-250mm*10-120-mm*10-50mm 圆靶50-170mm (直
径)*厚度 100-20mm。Ti-Al wt% 50:50 ,70:30,80:20
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